MSF低频主动空气弹簧是厘米自动化最新研发的一种先进的减振和稳姿解决方案，特别适用于对低频振动敏感的应用场景。该系统结合了空气弹簧、机械式倒立摆负刚度机构、正刚度机构以及主动振动控制和精密定位控制等多种技术，以实现高性能的6自由度主动减振和稳姿。

在垂向支撑方面，低频主动空气弹簧采用空气弹簧作为主支撑。空气弹簧具有优良的隔振性能，特别是在低频范围内表现突出。它们能够根据负载变化自动调节内部气压，保持稳定的支撑力，从而有效隔离来自地面的振动干扰。

在水平方向上，系统采用了机械式倒立摆负刚度机构与正刚度机构并联的设计。这种结构能够平衡正刚度机构产生的稳定支撑力与负刚度机构提供的柔性支撑，使系统在水平方向上既具有足够的刚度以抵抗外部扰动，又能在必要时提供必要的柔性以适应振动变化。

为了实现主动振动控制，系统配备了精确的传感器和控制系统。传感器实时监测平台的振动状态，并将数据传输给控制系统。控制系统根据接收到的数据，通过算法计算出最佳的振动控制参数，并驱动执行机构进行主动干预，从而实现对垂向和水平向振动的有效抑制。

MSF-A系列低频主动空气弹簧系统还具备精密定位控制功能。通过高精度的传感器和控制系统，平台可以实现对放置在其上的物体的精确定位和微调。这一功能在需要高精度稳定性的应用中尤为重要，如精密测量、光学实验等。

MSF-A系列低频主动空气弹簧系统通过集成多种先进技术和控制策略，实现了高性能的6自由度主动减振和稳姿。它在各种对振动敏感的应用中具有广泛的应用前景，能够提高实验结果的准确性和可靠性，为科学研究和技术创新提供有力支持。