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MSQ-A整体式主动减振平台由厘米自动化结合国内外先进经验而设计，融合了先进的减振技术和精密定位控制功能，为各种应用提供了高效、稳定的支撑和减振解决方案。该平台通过集成3组或4组减振模块于一体，实现了紧凑、高效的结构设计。每个减振模块中的金属弹簧作为主支撑，提供了六自由度隔振的功能，有效地隔离了来自不同方向的振动干扰。
除了金属弹簧的支撑作用外，该平台还配备了垂向和水平向的主动振动控制系统。这些控制系统通过精确的传感器和算法，实时监测并调整平台的振动状态，从而实现6自由度高性能主动减振。这种主动振动控制技术的应用，不仅提高了平台的减振效果，还增强了其适应不同环境和工况的能力。
该平台还可选配精密定位控制功能。这一功能通过高精度的传感器和控制系统，实现了对平台位置的精确控制。无论是需要微调平台位置，还是保持平台在特定位置上的稳定性，精密定位控制功能都能提供可靠的支持。
整体式主动减振平台以其高性能、高精度和高稳定性等特点，在精密仪器、光学设备、半导体制造等领域具有广泛的应用前景。通过不断优化设计和提升性能，该平台将为更多领域提供优质的减振和支撑解决方案。
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型号 |
MSQ-A系列 |
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台面尺寸 |
900×750mm/900×850mm/900×900mm |
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承载能力 |
500~1500kg |
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系统减振自由度 |
6个自由度 |
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最低隔振频率 |
0.8Hz |
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传递率 |
≤-5dB@2Hz，≤-15dB@5Hz，≤-25dB@10Hz |
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调平精度 |
≤15urad |
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电机推力常数 |
80N/A |
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系统最大功率 |
500W |
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适用场景 |
扫描电镜、电子显微镜等负载较小的高精度仪器 |
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